Résumé
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De nombreuses applications industrielles
spécifiques dans les secteurs tels que l’automobile, le
médical et le spatial, requièrent un très haut
niveau de fiabilité. Dans ce contexte, cette thèse traite
de l’étude de la fiabilité des mémoires
non-volatiles à grille flottante de type NOR Flash. Après
une introduction mêlant l’état de l’art des
mémoires non volatiles et la caractérisation
électrique des mémoires Flash, une étude sur
l’effet des signaux de polarisation a été menée.
Un modèle a été développé afin de
modéliser la cinétique de la tension de seuil durant un
effacement. L’effet de la rampe d’effacement a été
montré sur les cinétiques mais aussi sur l’endurance. Une
étude sur la durée de vie de l’oxyde tunnel a ensuite
montré l’importance de l’utilisation d’un stress dynamique. Nous
avons caractérisé cette dépendance en fonction du
rapport cyclique et du champ électrique appliqué. Enfin
l’endurance de la cellule mémoire Flash a été
étudiée et les effets de la relaxation durant le cyclage
ont été analysés.
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